I-line Stepper對準效率與曝光平臺的關係
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A02035171
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳俊淇 范瑞雲 柯富祥
- 主題與關鍵字：
- I-line Stepper對準效率 微影製程 光學投影系統 X-Y曝光平臺 X-Y stage
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:9:4 民91.11
- 頁次:頁38-45
- 日期：
- 20021100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
